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高精度真空蚀刻线

我公司设计的内层DES线;显影+真空精密蚀刻+高压退膜线,实现自动连线,高精密真空蚀刻,蚀刻因子达到4.5,均匀性达到95%

产品分类:

内层处理设备

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