水平DES
水平真空蚀刻线:能力:0.05~4.0 板厚,产速达5米/分钟。真空蚀刻,蚀刻因子达到4.0以上,蚀刻均匀性96%。适合2MI*2MILd的精细线路。超声波震荡,高压水洗,高压退膜,滚筒收集膜渣,挤干功能。
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内层处理设备
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线路处理设备
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水平DES
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水平DES线:能力:0.05~4.0 板厚,产速达5米/分钟。超声波震荡,高压水洗,高压退膜,滚筒收集膜渣,真空蚀刻线,均匀达到96%,蚀刻因子达到4.0.配备蚀刻自动添加功能。
水平真空蚀刻线:能力:0.05~4.0 板厚,产速达5米/分钟。真空蚀刻,蚀刻因子达到4.0以上,蚀刻均匀性96%。适合2MI*2MILd的精细线路。超声波震荡,高压水洗,高压退膜,滚筒收集膜渣,挤干功能。
水平真空蚀刻线:能力:0.05~4.0 板厚,产速达5米/分钟。采用真空蚀刻,减小水池效应和侧蚀刻。蚀刻因子达到4.0以上,蚀刻均匀性96%。适合2MI*2MILd的精细线路。超声波震荡,高压水洗,高压退膜,滚筒收集膜渣,挤干功能。
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